EMS電鏡耗材通過微孔可觀察到碳顆粒的晶面間距，膜上形成的多晶金團(tuán)簇，在這些團(tuán)簇的邊緣可分辨出晶格，此樣品還可以通過標(biāo)注鍍金膜上孔內(nèi)碳的沉積率來測(cè)定電鏡的混染率。帶有乳膠狀顆粒的網(wǎng)狀格柵，既可以利用格柵間距進(jìn)行放大倍數(shù)校正，又可通過測(cè)量格柵上乳膠顆粒的大小來進(jìn)行校正，特別適用于透射電鏡更高放大倍數(shù)的校正。利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息。

    掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，采用不同的信息檢測(cè)器，使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息，對(duì)x射線的采集，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。
    而當(dāng)放大率倍數(shù)較高的時(shí)候，復(fù)雜的波動(dòng)作用會(huì)造成成像的亮度的不同，因此需要專業(yè)知識(shí)來對(duì)所得到的像進(jìn)行分析。通過使用TEM不同的模式，可以通過物質(zhì)的化學(xué)特性、晶體方向、電子結(jié)構(gòu)、樣品造成的電子相移以及通常的對(duì)電子吸收對(duì)樣品成像。